1. Depożizzjoni
L-ewwel pass fil-manifattura ta 'ċippa ġeneralment huwa li tiddepożita film irqiq ta' materjal fuq il-wejfer. Il-materjal jista 'jkun konduttur, iżolatur, jew semikonduttur.
2, kisi fotoresist
Qabel il-fotolitografija, il-materjal fotosensittiv" photoresist" jew" photoresist" l-ewwel huwa miksi fuq il-wejfer, u mbagħad il-wejfer jitqiegħed fil-magna tal-litografija.
3. Espożizzjoni
Agħmel il-mudelli tal-mudell li jeħtieġ li jiġu stampati fuq ir-retikulu. Wara li l-wejfer jitqiegħed fil-magna tal-litografija, ir-raġġ tad-dawl jiġi pproġettat fuq il-wejfer permezz tar-retikulu. L-elementi ottiċi fil-magna tal-litografija jiċkienu u jiffukaw il-mudell fuq il-kisi fotoresist. Taħt l-irradjazzjoni tar-raġġ tad-dawl, il-photoresist jgħaddi minn reazzjoni kimika, u l-mudell fuq il-photomask huwa hekk stampat fuq il-kisi photoresist.
4. Litografija komputazzjonali
L-effetti fiżiċi u kimiċi ġġenerati waqt il-fotolitografija jistgħu jikkawżaw deformazzjoni tal-mudell, għalhekk huwa meħtieġ li l-mudell fuq ir-retikulu jiġi aġġustat bil-quddiem biex tkun żgurata l-eżattezza tal-mudell tal-fotolitografija finali. ASML tintegra dejta litografika eżistenti u dejta tat-test tal-wejfer biex toħloq mudelli ta 'algoritmu u taġġusta b'mod preċiż il-mudelli.
5. Ħami u żvilupp
Wara li l-wejfer iħalli l-magna tal-litografija, għandu jkun moħmi u żviluppat biex il-mudell tal-litografija jkun imwaħħal b'mod permanenti. Aħsel il-photoresist żejjed, ħalli parti vojta tal-kisi.
6, inċiżjoni
Wara li jitlesta l-iżvilupp, uża gass u materjali oħra biex tneħħi l-partijiet vojta żejda biex tifforma mudell ta 'ċirkwit 3D.
7, kejl u spezzjoni
Matul il-proċess tal-produzzjoni taċ-ċippa, il-wejfers huma dejjem imkejla u spezzjonati biex jiġi żgurat li ma jkunx hemm żbalji. Ir-riżultati ta 'l-ispezzjoni jingħataw lura lis-sistema tal-litografija biex itejbu u jaġġustaw aktar it-tagħmir.
8. Impjantazzjoni tal-jone
Qabel ma tneħħi l-fotoresist li jifdal, il-wejfer jista 'jiġi bbumbardjat b'jonji pożittivi jew negattivi biex jaġġusta l-karatteristiċi tas-semikondutturi ta' parti mill-mudell.
9. Irrepeti l-passi tal-proċess kif meħtieġ
Mid-depożizzjoni tal-film sat-tneħħija tal-photoresist, il-proċess kollu jkopri l-wejfer b’disinn. Biex tifforma ċirkwit integrat fuq wejfer biex tlesti l-produzzjoni taċ-ċippa, dan il-proċess jeħtieġ li jiġi ripetut kontinwament, sa 100 darba.
10, ċippa ppakkjata
L-aħħar pass huwa li taqta 'l-wejfer biex tikseb ċippa waħda, li tkun ippakkjata f'kaxxa protettiva. B'dan il-mod, iċ-ċippa lesta tista 'tintuża biex tipproduċi televiżjonijiet, pilloli jew apparat diġitali ieħor!
Jekk inti interessat fil-prodotti tagħna, jekk jogħġbok żurwww.hkram.combiex ikollok aktar informazzjoni.